什么是电子显微镜的EDX系统

EDX系统(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)是安装在电子显微镜上的一个附加分析系统,全称为“能量色散X射线谱系统”。它的主要功能是对样品进行元素成分分析。 其工作原理是: EDX是电子显微镜必备的元素分析功能,它可以对样品材料进行定性和定量分析,用于研究材料组成及结构,在半导体、地质、生物、冶金等领域都有重要应用。与电子显微镜结合,可以直接获得样品微区域的元素组成,是一种重要的微区元素分析技术。

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