FEI ALTURA 855 是一台双束电子显微镜，可以用于缺陷表征、故障分析和透射电子显微镜（TEM）样品制备¹。它具有以下主要参数和用途：

• 它使用 SFEG Sirion 电子柱，电子束电压从 500V 到 30kV¹，可以提供高分辨率的扫描电子显微镜（SEM）图像。
• 它使用 Sidewinder 离子柱，离子束电流从 1pA 到 21nA¹，可以用于精确地切割、雕刻和修复样品。
• 它配备了 TLD 和 CDEM 探测器，可以用于检测二次电子、背散射电子和离子引发的二次电子¹，以获取样品的形貌、组成和晶体结构信息。
• 它具有五轴电动补心式台，可以加载 200mm 晶圆¹，并可以在 XYZ 方向上移动 205 x 205 x 10 mm，倾斜从 -10° 到 +60°，旋转 n x 360°¹，以实现多角度的观察和操作。
• 它具有气体注入系统（GIS），最多可以安装 4 个喷嘴，其中 1 个已经包含，可以是铂或钨¹，可以用于在样品表面沉积金属或绝缘材料，以保护或连接样品。
• 它具有无油真空系统，由 3 个离子泵、风冷涡轮泵和干式 PVP 组成¹，可以保证高真空度和低污染。
• 它具有先进的软件自动化功能，可以实现自动化的 TEM 样品制备和高通量的离子束铣削¹，以提高生产效率和为制造过程提供快速反馈。
• 它还可以选择安装 Omniprobe 纳米操作器、额外的 GIS 化学品、等离子体清洁器、集成的能谱和电子背散射衍射（EDS 和 EBSD）探测器等¹，以增强其功能和应用范围。

FEI ALTURA 855 这台设备可以用于多种行业和领域，主要是与材料科学、纳米技术、生命科学、半导体和微电子等相关的领域。一些具体的应用示例如下：

• 在材料科学领域，它可以用于研究金属、陶瓷、复合材料、聚合物、纳米材料等的微观结构、物理性能和化学组成。它可以用于制备高质量的 TEM 样品，以进行更深入的分析。它也可以用于在样品表面沉积或刻蚀不同的材料，以制造或改善纳米结构。
• 在纳米技术领域，它可以用于制造和表征各种纳米器件，如量子点、碳纳米管、石墨烯、纳米线、纳米棒、纳米粒子等。它可以用于在纳米尺度上操纵和连接这些纳米结构，以实现新的功能和性能。
• 在生命科学领域，它可以用于研究细胞、组织、生物分子、病毒、纳米药物等的形态、结构和相互作用。它可以用于制备薄切或冷冻的生物样品，以进行 SEM 或 TEM 的观察。它也可以用于在生物样品上沉积或刻蚀标记物，以提高对特定区域或成分的识别。
• 在半导体和微电子领域，它可以用于进行故障分析、缺陷表征、工艺开发和优化等。它可以用于在晶圆上进行精确的切割、雕刻和修复，以检测或修复电路或器件的问题。它也可以用于在晶圆上沉积或刻蚀导电或绝缘材料，以制造或改变电路或器件的功能。